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Halbleitertechnik

In vielen oberflächentechnischen Prozessen der Halbleitertechnik werden Netzmittel eingesetzt, um die Benetzungseigenschaften der Prozesslösungen definiert einzustellen. Mit der Prozessmessgröße Oberflächenspannung werden diese kontinuierlich überwacht und gesteuert.

Im Folgenden sind 3 Anwendungsbeispiele dargestellt.

 

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