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Überwachen der Tensidkonzentration in TMAH-Entwicklerlösungen

Tetramethylamoniumhydroxidlösungen (TMAH) werden bei der Halbleiter-Fertigung als Entwickler in der Lithografie oder als Reiniger vor dem Chemisch-Mechanischem Polieren (CMP) eingesetzt. Die meist im Schleuderverfahren aufgetragene Entwicklerlösung muss die Waferoberfläche vollständig und gleichmäßig benetzen. Dies ist die Voraussetzung für eine konstante, geometrieunabhängige Wirkung des Entwicklers.

Die optimale Benetzung wird durch definierten Einsatz von Tensiden eingestellt. Aufgrund des zeitabhängigen, dynamischen Vorganges des Benetzens müssen adäquate Tenside in der richtigen Konzentration ausgewählt werden. Diese Auswahl und die Einstellung bzw. Überwachung der Tensidkonzentration wird optimal durch Messen der dynamische Oberflächenspannung unterstützt.

Für die Überwachung der Oberflächenspannung in den Badansätzen bietet SITA verschiedene Lösungen an. Die Tensiometer nutzen die innovative Blasendruckdifferenzmethode, mit der die Oberflächenspannung vom hoch dynamischen bis in den quasistatischen Bereich messbar ist.

 

Das Bild zeigt Messwerte der dynamischen Oberflächenspannung für unterschiedliche Tenside/Netzmittel in TMAH-Entwicklerlösungen.

DynoTester+

Atline-Kontrolle der Tensidkonzentration

Für die reine Qualitätsüberwachung empfiehlt sich besonders das flexible und leichte Handtensiometer DynoTester+. Mit ihm können in kürzester Zeit und vor Ort Messungen durchgeführt und Abweichungen erkannt werden. Somit kann einfach und schnell die Qualität des Lösungsansatzes, in Bezug auf das Benetzungsverhalten, stichprobenartig ermittelt werden. Die Handhabung des DynoTester ist übersichtlich und einfach gestaltet. Die wichtigsten Funktionen sind problemlos per Direktzugriff erreichbar.

Weitere Informationen zum Atline-Einsatz am Prozess [...]

SITA clean line ST

Inline-Messung der Tensidkonzentration

Eine kontinuierliche und automatische Messung der Oberflächenspannung zur Kontrolle der Tensidkonzentration in TMAH-Lösungen ist mit dem Prozessmess-Tensiometer SITA clean line ST möglich. In den Prozess integriert misst es in regelmäßigen Abständen die Oberflächenspannung und vergleicht die Werte automatisch mit den zulässigen Grenzen. Im Falle einer Abweichung kann über Schnittstellen ein Signal ausgegeben und sofort reagiert werden. Die Ergebnisse werden automatisch gespeichert. Der Messwertspeicher hat eine Kapazität von mindestens einem Jahr. Sollte eine längerfristige Speicherung notwendig sein, so können die Werte über eine serielle Schnittstelle vom PC ausgelesen werden.

Weitere Information zur Inline-Messung im Prozess [..]

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